背景

半导体工厂中的空气处理机组（AHU）起着至关重要的作用：为制造环境提供可靠的温度和湿度控制。工厂中空气温度和湿度的微小变化也会对芯片质量产生极大影响，而且停工成本非常高。

空气处理系统也是工厂中最大的能源消耗设备之一。当美国东北部的一家半导体工厂寻求降低能耗的方法时，空气处理设备自然成了关注的焦点。项目范围包括137个AHU盘管；大多数机组均有热盘管和冷盘管。

解决方案

常用的空气盘管清洁方法有三种，每种方法都有自己特有的优势和风险：

• 高压水：清洁效率高，但会使污垢进入盘管组深处并造成易受损坏的盘管翅片弯曲
• 低压水：降低损坏盘管翅片的风险，但去除污垢和微生物膜的效果较差。还可能增加清洁时间和工人的化学品接触风险。
• 侵蚀性化学品应用：去除金属氧化物以呈现“闪亮清洁的”外观，但可能无法完全去除污垢和微生物膜。刺激性化学物质还会增加工人的接触风险并损害盘管的长期使用寿命。

为克服其中的许多缺点，该工厂选择了纳尔科获得专利的COIL-FLO方案，该方案包括四个主要特征：

• 兼具500 psi压力与低耗水量，可降低盘管损坏的风险并减少处理量
• 低碱度/表面活性剂清洁剂混合物最大限度地减少了所需的水和化学品用量，并降低了将污垢带入盘管组的风险。大多数情况下，清洗水在清洗后会被送到工厂的卫生设施或废水处理设施。
• 应用于盘管表面和排水盘的清洁后杀菌剂有助于防止微生物膜快速重现，降低腐蚀风险并延长清洁间隔时间
• COIL-FLO清洁由经过培训的合资质服务人员穿戴适当的个人防护装备（PPE）并遵循安全流程进行。

此外，COIL-FLO方案还包括对代表性AHU的事前、事后和定期监测。这些步骤可确立性能基准、量化运营改进和节能、确定运营周期长度，以帮助确认客户投资的积极回报。

对于该客户，COIL-FLO方案的性能验证如下：

1. 确定并调查了八个具有代表性的AHU；在清洁开始之前进行了直接和间接测量。
2. 清洁完成后，对相同的AHU进行了直接和间接测量。
3. 基于此代表性样本，计算了总体预测以量化每年节约的成本。

成果

空气侧冷却盘管测量使每个AHU的传热平均提高了11.5%，相当于每年节约$69,881的成本。

风扇系统的能源效率也得到了提高，每个AHU平均提高17.95%。对于该工厂，这意味着每年估计可节省$48,021的成本。

总之，COIL-FLO方案帮助该客户每年节约了1.22百万千瓦时的能源，价值$117,902，此外还将CO₂排放量减少了900吨。客户仅需1.1年即可看到经济投资的回报。请注意，这些值不包括因冷冻水需求减少而额外节约的成本。

“通过提高空气盘管效率实现节能”最初发表于SESHA（半导体环境、安全与健康协会）年度研讨会。