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无金属UPW抛光解决方案
设计用于去除TOC和H2O2，以获得超纯结果
毫不妥协地满足半导体工厂运营者对UPW抛光系统的期望。
当今的集成电路配置非常复杂，即使是最微小的污染物也会影响最终产品。Ovivo by Ecolab的目标始终是消除所有潜在的污染源。
方案详情
通过采用高纯度材料，如特殊的PVDF-HP颗粒或Halar® E-CTFE，Ovivo by Ecolab无金属UPW抛光系统可以实现低于1 ppb的总有机碳（TOC）和低于10 ppb的过氧化氢（H2O2）。
包含针对所有浸液部件的半导体级清洁程序。此外，我们的解决方案允许对供应链进行完全控制，以确保产品的高可靠性和长期耐用性。
为了支持我们的无金属抛光系统，我们开发了以下产品：
- U-PUR。用于UPW生产的最紧凑的无金属反应器（UV氧化/催化剂/抛光混床）。
- UPW泵。专为UPW应用设计和制造的新一代非金属泵。
- CFHA滤芯式过滤器外壳。用于UPW抛光步骤的顶级无金属滤芯式过滤器外壳。
这些产品最大限度地减少了UPW抛光系统中的不锈钢（SS）润湿表面。
工作原理
传统的抛光系统包括相当多的电抛光不锈钢设备，而我们的UPW泵以及集成了紫外线处理的U-PUR含氟聚合物内衬离子交换容器则消除了大部分润湿的金属表面。
无金属泵并不是UPW市场中的新鲜事物。新的是Ovivo的UPW泵实现的高流量。这些高纯度无金属泵经过精心设计，以确保所有润湿表面均为高纯度PVDF材质。通过将316L SS叶轮更换为高纯度PVDF叶轮，可以消除在服务中断、泵维护或密封冲洗期间所经历的工艺流中的导电颗粒。
创新的U-PUR无金属反应器能够去除痕量TOC和H2O2，产生的水比传统系统纯净得多。它采用易于维护的无管道解决方案的设计，降低了金属暴露造成的污染风险。U-PUR产品将UV反应器与混合床结合在一起，以消除不锈钢润湿表面。这代表了UPW输送的重大进步，并使该系统能够实现大幅提升的水质。
CFEHA（符合欧洲标准的带内部Halar涂层的滤芯式过滤器外壳）和 CFAHA（符合ASME标准的带内部Halar涂层的滤芯式过滤器外壳）型号是满足UPW应用特定需求的最终选择。两种型号在涂覆Halar涂层之前都经过内部和外部的酸洗和钝化。这些先进的过滤器外壳包含高性能的316L不锈钢材料，所有润湿表面均衬有含氟聚合物。这确保了UPW永远不会与裸露的金属接触，是纳米技术制造的理想选择。
相关产品
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滤芯式过滤器外壳
Ovivo by Ecolab滤芯式过滤器外壳经过精心设计，可提供可靠的高质量过滤，通常在几乎所有类型的工业水过滤工艺流程中用作精滤装置，是制药、食品与饮料、反渗透预过滤和超纯水（UPW）精制的理想选择。
UPW泵
用于超纯水（UPW）应用的Ovivo by Ecolab新一代非金属高纯度泵按照最严格的半导体标准设计和制造，以满足当前和未来的国际设备和系统路线图（IRDS）要求。
U-PUR™
Ovivo by Ecolab U-PUR是市面上最紧凑的不含金属的反应器，用于向电子、医疗和制药行业供应超纯水（UPW）。
