尿素分析仪
提供连续、准确的尿素测量
尿素是用于半导体制造的超纯水(UPW)中的关键污染物,因为它会导致总有机碳(TOC)浓度增加,并可能对光刻工艺流程产生不利影响。
Ovivo by Ecolab尿素分析仪是一款新创新的产品,通过四个采样通道提供连续、准确的尿素测量。
设备详细信息
Ovivo by Ecolab尿素分析仪可实现连续监测,能够捕获季节性尿素变化并调整UPW处理工艺步骤,以最大限度地去除尿素。
该应用适用于UPW或去离子水。其他应用取决于水的成分。
我们在高效的尿素处理系统方面拥有丰富的经验,可以根据客户的具体情况和需求进行设计。
尿素分析仪具有以下重要特色:
- 自动采样和分析
- 24/7连续运行
- 化学品消耗量低
- 尿素浓度范围广
- 抓取样本选项
- 软件可在初始启动后自动运行,并可自动完成数据整合和结果解读
| 检测限 | 1.5 ppb尿素 |
| 有效测量范围 | 3 ppb...150 ppb(以尿素计) |
| 采样通道 | 4 |
| 平均测量时间 | 每个样品60分钟 |
| 每个样品的体积 | < 100 毫升 |
| 最大样品压力 | 10巴(145 psi) |
| 电压 | 90 - 230V / 10A @ 50 - 60Hz |
| 功耗 | 450瓦 |
| 尺寸 | 60 x 60 x 190 厘米(24 x 24 x 75英寸) |
| 运行模式 | 自动/可选序列或手动单次测量。在线或抓样分析。 |
工作原理
用于尿素监测的过程型LC-OND分析仪。
尿素分析仪的工作原理基于色谱分离,即LC-OND(液相色谱-有机氮检测)。
流动相(盐缓冲液)由专门设计的氧化反应器进行预清洁。定体积的水性样品通过回路拾取并注入流动相的连续流中。随后,将样品送入泵和色谱柱,在色谱柱中将尿素与硝酸盐、铵等其他含氮物质分离。
溶液离开色谱柱后进入短波紫外氧化灯反应器,尿素会在这里转化为硝酸盐。
然后通过低波长紫外吸收检测器(UVD)选择性地检测硝酸盐。
所有组分均根据其特定的保留时间进行洗脱。保留时间用于定性,而峰面积则用于定量。
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