冷却塔是晶圆厂的主要热量排放源，而冷冻水系统是热负荷的主要来源。这种关联还会影响其他关键的支持资产，如空气处理机和压缩机、工艺真空和工艺冷却水。作为开放式系统，冷却塔容易受到空气污染物的影响，从而影响冷冻机的效率。适当的系统管理对晶圆厂的效率和正常运行时间至关重要。
提高微电子生产的可靠性和生产率
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冷却水系统
- 您是否面临使接近温度保持等于或低于设计制造商规格的挑战？
- 您是否对现有用于量化水、能源、废弃物、成本和/或风险降低的工具不满意？
- 您是否面临如何更好地利用现有的再生水源，同时考虑水质变化的挑战？
我们的3D TRASARTM冷却水技术可检测各种超标状况并确定正确的应对措施，有助于提高运营和成本效率。3D TRASAR方案可帮助晶圆厂回收工艺冲洗水并将其用作冷却塔补充水，在某些情况下甚至可以使冷却塔不再使用淡水，同时帮助保护固定资产。
考虑采用3D TRASARTM冷却水方案的更多理由：
- 沉积和结垢控制有助于尽量降低能源消耗
- 优化的浓缩倍数有助于最大程度地减少用水量
- 通过性能仪表板访问实时系统数据
- 24/7/365全天候监测，让您高枕无忧
- 有个项目在第一年就节约了720万加仑的水，节省近115,000美元的总运营成本（TCO）
纳尔科过滤系统有助于最大限度地减少小容差冷却水系统中的系统沉积物，帮助保证冷却水供应
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锅炉系统
某些晶圆厂使用蒸汽发生设备来提供工艺所需的热能。这种系统会影响一系列资产，包括用于高温UPW和辅助热水工艺的空气处理机和热交换器。
- 您考虑过将这些系统作为节约水和能源的潜在机会吗？
- 您遇到过锅炉过早失效而需要更换管件的问题吗？
- 您希望利用新的水处理监测工具的优势帮助您降低锅炉的总运行成本吗？
我们的3D TRASARTM锅炉技术方案旨在提高竞争优势，优化总运行成本。我们使用整体系统方法帮助您生产可靠、安全且具有成本效益的蒸汽。
与纳尔科合作的更多理由：
- 针对蒸汽锅炉、除氧剂、内部处理剂和冷凝水腐蚀抑制剂
- 用于实时监测并控制内部处理和预热锅炉系统腐蚀的技术
- 通过根据您的运营和环境需求量身定制的方案保护蒸汽系统
- 通过减少燃料和水消耗、延长资产寿命，实现潜在的巨大投资回报
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热水系统
某些晶圆厂使用热水系统来提供工艺所需的热能。这种系统会影响一系列资产，包括用于高温UPW和辅助热水工艺的空气处理机和热交换器。
- 您考虑过将这些系统作为节约水和能源的潜在机会吗？
- 您遇到过换热器过早失效而需要对其进行清洗或更换的问题吗？
- 您希望利用新型水处理监测工具的优势帮助您降低热水系统的总运行成本吗？
我们重视控制晶圆厂热水系统的结垢和腐蚀，这有助于保证可靠的制造环境。
与纳尔科合作的更多理由：
- 3D TRASARTM技术在某些情况下可用于提供关键水参数的实时工艺可视性，包括电导率、腐蚀速率、水力损失和pH值
- TRAC热水方案可帮助确保为各种冶金材料提供出色的腐蚀控制
- 通过减少燃料和水消耗、延长资产寿命，实现潜在的巨大投资回报
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空气处理机
空气处理系统可提供特定温度和相对湿度的新风补给。即使稍微偏离设定值也会严重影响产品质量。如果没有可靠和高效的空气处理系统，这可能危及正常运行时间，而停机成本是很高的。
- 您能够可靠地保持您的目标温度和相对湿度设定值吗？
- 您是否面临保持足够的冷冻水产量以满足温暖月份需求的挑战？
- 您是否能够准确地度量并记录您的盘管清洁方案的节能效果？
我们的COIL-FLO盘管清洁方案有助于改善盘管效率和空气质量，从而产生更多、更凉爽的空气。
为您的空气处理机选择COIL-FLO的更多理由：
- 帮助降低空气处理机的能源成本
- 帮助优化过滤器寿命，降低过滤器更换成本
- 基于数据的节能记录
- 由敬业、训练有素的技术人员进行清洁
- COIL-FLO帮助一家半导体工厂每年节电122万千瓦时，价值117,900美元
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洗涤器
洗涤器通过去除工艺废气流中的污染物来支持环保合规和环境保护。高浓度气流也可以配备专门的使用点（POU）洗涤器。减少填料上的生物膜和结垢对洗涤器的性能至关重要。
- 对洗涤器的计划外维护是否会影响您的产能？
- 您是否面临对洗涤器性能进行准确的趋势分析和监测的挑战？
- 您是否不确定您工厂的水管理计划是否涵盖您的洗涤器？
我们的水处理方案通过控制结垢和微生物沉积，帮助晶圆厂确保高效的洗涤器性能和环保合规。
与纳尔科合作实施洗涤器水处理的更多理由：
- 我们的方案支持高效的空气洗涤器运行
- 帮助防止计划外维护
- 帮助降低水垢和微生物沉积的风险
- 自动化化学处理方案可保证人员健康与安全
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晶圆厂和辅助间
独立的OEM冷却回路负责从晶圆厂的不同制造工艺流程带走热量。这种闭环系统往往具有严格的水质标准，不适当的水管理可能导致计划外停机和代价高昂的资产损坏。
- 是否有晶圆厂工程师或工具拥有者报告工艺相关问题影响了工具性能？
- 您是否面临超出晶圆厂典型运行条件的特殊工具冷却要求？
- 如果您遇到工具故障，您是否具备适当的分析能力来正确识别根本原因？
我们的PCCL（关键工艺闭路循环）方案可帮助半导体工具制造商确保更高的正常运行时间水平，避免工具冷却水回路问题。
与纳尔科合作保护您的独立冷却回路的更多理由：
- 为您的整个企业提供一致的分析支持
- 全球性企业级部署能力
- 针对特定工具的水处理解决方案
- 自动化化学处理方案可保证人员健康与安全
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工艺冷却水
工艺冷却水（PCW）系统对生产至关重要，可为制造工艺流程提供可靠的散热。高效运行的PCW系统可保护昂贵的生产资产，帮助确保正常生产运行。
- 是否有晶圆厂工程师报告液流问题、工具故障或流量计污染问题？
- 您的工程师是否缺乏足够的工具来管理并验证PCW回路的性能符合晶圆厂的要求？
- 您是否面临检测晶圆厂添置或重新配置工具时发生的PCW系统中断挑战？
我们在控制冷却水系统的结垢、腐蚀和微生物方面的专业知识有助于保护水质，确保可靠的制造环境。
与纳尔科合作实施PCW处理的更多理由：
- 3D TRASARTM冷却水技术提供关键工艺水参数的实时可见性，包括电导率、腐蚀风险、水力损失和pH值
- TRAC冷却水方案确保在广泛的电导率要求下为广泛的冶金领域提供出色的腐蚀控制
- 纳尔科过滤系统有助于最大限度地减少小容差冷却水系统中的系统沉积物，帮助保证冷却水供应
- 利用3D TRASARTM冷却水技术，我们帮助一家晶圆厂每年节省1090万加仑（4130万升）水，并将其PCW系统的唑排放量减少了64%
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工艺真空
工艺真空（PVAC）系统可确保特定的工具条件，以实现可靠的晶圆加工。PVAC系统的散热需要高效的热传递。这个区域的水管理不当可能危及运行性能和长期资产寿命。严重时可能导致代价高昂的计划外停机。
- 您是否会监测您的密封水温度？如果会，您是否遇到过高温报警？
- 您的PVAC热交换器是否需要维护清洁以恢复其设计性能？
- 您是否担心您的方案和监测工具不足以充分发挥PVAC系统的性能？
我们使用机械、操作和化学方法在现场解决PVAC问题。我们经验丰富的人员以广泛的实验室和当地分析资源为后盾，包括微生物和腐蚀根源分析。
与纳尔科合作实施PVAC水管理的更多理由：
- 通过定制的PVAC处理方案，我们帮助一家晶圆厂将计划外维护减少了95%以上，并将系统水中的铁含量降低了97%，每年节省$85,700
- 我们共同制定的方案包括对晶圆厂人员进行培训，以实施和跟踪执行，帮助确保达到预期效果并记录在案
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冷冻水系统
冷冻水是连接中央公用事业建筑和晶圆厂其他部分的关键环节。冷却器往往是晶圆厂的第二大能源消耗设备。这类系统会影响一系列资产，包括空气处理机、PCW、空气压缩机、工艺真空系统等。
- 您是否担心您是否有能力利用当前的计划和监测工具适当地管理好冷冻水系统的死角和低流量区域？
- 您是否因管道积垢或堵塞引起制冷机性能下降而难以保持冗余度？
- 您是否开展过冷冻机效率研究以验证您的设备能够在规定负载条件下以额定容量运行？
我们重视控制晶圆厂冷却水的结垢、腐蚀和微生物，帮助确保可靠的制造环境。
与纳尔科合作的更多理由：
- 3D TRASARTM冷却水技术提供关键水参数的实时工艺可见性，包括电导率、腐蚀速率、水力损失和pH值
- TRAC冷却水方案确保在广泛的电导率要求下为广泛的冶金领域提供出色的腐蚀控制
- 纳尔科过滤系统可帮助最大限度地减少冷冻冷却水系统中的系统沉积物，以支持可靠一致的冷却水供应
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废水
微电子工厂会产生大量废水。选择适当的处理策略应该平衡多种考虑因素，如安全性、合规性、可靠性和成本，所有这些都会影响晶圆厂的总体水足迹。如果处理得当，这些水中的大部分可以用于其他应用。
- 您的废水处理过程是否已成为充分提高工厂生产能力的瓶颈？
- 您目前的废水处理方案能否适应先进制造工艺所带来的波动和/或日趋严格的排放限制要求？
- 您觉得您的废水处理方式是否跟上了工厂与水有关的可持续发展目标的变化？
我们的后处理专业知识有助于控制晶圆厂废水中的重金属和氟化物，从而帮助确保合规性，优化运营成本。
与纳尔科合作的更多理由：
- 3D TRASARTM废水技术方案可帮助您以最低的总运营成本实现环保合规
- 针对特定废水挑战的DBOOM能力（设计、建造、拥有、运营和维护）
- NalmetTM重金属去除方案可处理螯合金属流，改善水生毒性水平
- 优化污泥脱水有助于降低处理成本
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超纯水
超纯水（UPW）是晶圆厂的命脉，在整个芯片制造过程中，UPW将工艺化学制剂输送到晶圆上，并对其进行冲洗。先进的技术节点要求不断提高UPW系统的运行效率和可靠性。在这种情况下，管理和控制用于保证UPW可靠性的化学制剂（如防垢剂、清洁剂和微生物方案）变得更加关键。通过合理设计的处理化学制剂方案，可以实现系统可靠性、水/能源效率、资产寿命和总运营成本的平衡。
我们的PermaCareTM产品系列和控制技术有助于防止反渗透问题并确保高质量的渗透。
与纳尔科合作的更多理由：
- 高效阻垢剂可帮助防止因膜堆积造成的矿物沉积物，从而导致结垢和停工
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3D TRASARTM膜技术提供：
- • 精确的阻垢剂剂量
- • 保护膜免受氧化剂峰值的影响
- • 优化回收率和清洁计划
- 特别配制的清洁剂和杀菌剂，用于清除矿物结垢、不溶性结垢、有机污垢或微生物残留
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水传播病原体风险管理
晶圆厂很多涉及公用事业供水的设施都存在水传播病原体的潜在风险，包括军团杆菌。为员工创造一个安全的工作环境是微电子行业的一个重要特征。拥有一个全面的管理计划来监测和减轻水传播病原体的风险有助于保证员工和社区的安全。
- 您是否制定并实施了符合ASHRAE标准188指导方针的水风险管理计划？
- 您是否了解您设施中的哪些系统会造成水传播病原体风险以及如何管理这些风险？
- 您的水风险管理计划是否提供有助于确保工人安全的可见性以及明确的预防性维护、监测和必要时进行补救的方案？
我们提供整体式水传播病原体风险管理方法，其中可包括分析监测、长期控制策略和/或短期补救以及必要的应急服务。
与纳尔科合作的更多理由：
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我们开展的
军团杆菌分析比世界上其他任何组织都多。我们是全球水安全专家，拥有30多年的经验 - 在线冷却塔消毒——我们训练有素的认证服务工程师将在六小时内对运行中的系统进行消毒，然后将系统安全地恢复到正常运行状态。
- 离线塔消毒：我们的认证服务工程师可完成对塔台、风扇外壳区域、分配喷嘴、塔淋水板和水仓的全面物理清洁。
- 检测和认证：纳尔科根据OSHA技术手册（第III节：第7章，军团病）中公布的指导方针进行了认证。
- 凭借我们在世界各地实施的15,000多个冷却塔水管理计划，我们可帮助您制定一个适合您的运营并符合ASHRAE标准188的计划
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分析支持
您的先进制造工艺需要一个具备深度分析支持能力的合作伙伴。全面的技术服务支持进行根源分析，帮助确定正确的解决方案，以保证产品质量、运营效率和可持续性。
- 您是否确信您的分析数据集是着眼于对系统健康至关重要的参数？
- 您是否可以获得开展结论性根源分析所需的技术资源？
- 在遇到与水有关的问题时，您是否能可靠、准确、可重复地将分析信息转化为具体措施？
我们的全球分析支持可帮助实现快速、彻底的故障排除和问题解决过程。实验室服务包括：
- 水分析（UPW、PCW、废水、冷却水、再生水）
- 微生物分析
- 沉积物分析
- 故障分析（金相）
- 反渗透（RO）膜解剖
- 腐蚀试片分析
这些类型的分析可以帮助晶圆厂就以下主题做出快速、明智的决策：
- 解决影响生产的PCW问题
- 回收新水源作为冷却水补充，减少用水量和水足迹。
- 优化RO系统性能
